Trubková pec PECVD
Trubková pec PECVD je systém trubkové pece s plazmovou depozicí v plynné fázi, která se skládá z křemenné reakční komory, vysokofrekvenčního napájecího zdroje, vícekanálového systému míchání plynu, vakuové jednotky a systému řízení reakce. Pec používá vysoce čistý vláknitý materiál z oxidu hlinitého a povrch je potažen dováženým vysokoteplotním povlakem oxidu hlinitého, aby se prodloužila životnost nástroje a zlepšila se účinnost ohřevu. Radiofrekvenční indukční zařízení je instalováno před tradiční chemickou depozicí par pro ionizaci reakčního plynu a generování plazmy. Vysoká aktivita plazmatu urychluje reakci. Má dobrou stejnoměrnost a opakovatelnost, může vytvářet filmy na velké ploše, může vytvářet filmy při nízkých teplotách, má vynikající krokové pokrytí a snadno se ovládá složení a tloušťka filmu a snadno se industrializuje. Je široce používán při růstu tenkých vrstev, jako je grafen, oxid křemičitý, nitrid křemíku, oxynitrid křemíku a amorfní křemík (A-SI: H).
| Velikost trubky pece (MM) | Provozní teplota (°C) | Stupeň vakua | Výkon (KW) | Napětí | Topná tělesa | Rychlost ohřevu |
| Φ60*2200 | 1100 °C | -0,1 MPA 10PA 6,67*10-4PA | 3 | 220/380V | Odporový drát | 1-20 °C/MIN |
| Φ80*2200 | 3 | |||||
| Φ100*2200 | 4 | |||||
| Φ120*2200 | 5 |

-
Úvod do Vakuové tepelné zpracování Vakuové tepelné zpracování je pokročilý metalurgický proces používaný ke zlepšení mechanických vlastností a odolnosti průmyslových komponent. Zahříváním materiálů ve vakuovém prostředí se minimalizuje oxidace a kontaminace, což vede k přesnému a konzistentnímu výkonu materiálu. Tato technika je široce používána v průmyslových odvětvích, jako je letecký průmysl, automobilový průmysl, výroba nástrojů a elektronika. Zvýšená pevnost a tvrdost mat...



