Systém pece PECVD
Tento produkt je středně velký posuvný systém PECVD. Tento systém trubkové pece PECVD je vybaven plazmovým vysokofrekvenčním napájecím zdrojem, třícestným směšovacím systémem pro hmotnostní průtok plynu (s rozsahy 1-100 SCCM, 1-200 SCCM a 1-200 SCCM), otevřenou trubkovou pecí o průměru 60 mm (s vakuovou přírubou a spojovacím potrubím) a mechanickým čerpadlem.
Informace o produktu
| Model produktu | Posuvný systém trubkové pece PECVD——OYS-1200C-II-60-PECVD (Φ60) |
| Hlavní parametry produktu | Napájení: 220V 50/60Hz; Jmenovitý výkon: 3,1 kW; Maximální provozní teplota: 1200 °C (<0,5 h); Trvalá provozní teplota: ≤1100°C; Doporučená rychlost ohřevu: ≤10°C/min; Délka topné zóny: 440mm; Termočlánek: typ K |
| Hlavní vlastnosti | RF napájecí zdroj může dosáhnout vylepšení plazmy a výrazně snížit experimentální teplotu; rychlého nárůstu a poklesu teploty lze dosáhnout posunutím tělesa pece; namáhání fólie může být řízeno frekvencí vysokofrekvenčního napájecího zdroje; stechiometrii lze řídit úpravou procesu; lze nanášet různé materiály jako SiOx, SiNx, SiOxNy a (a-Si:H) |
| Topné těleso | Drát ze slitiny železo-chrom-hliník 0Cr21Al6Nb |
| Velikost trubky pece | Volitelný průměr křemenné trubice: Φ60 |
| Systém regulace teploty | Obsahuje regulátor teploty YD858; PID řízení a samočinné nastavení, inteligentní 50segmentové programovatelné řízení, s funkcemi alarmu přehřátí a vyhoření; přesnost regulace teploty: ±1℃ |
| Plazmový RF zdroj | 300W RF zdroj; Výstupní výkon: 0~300W nastavitelný; RF frekvence: 13,56MHZ; Automatické párování; Hladina hluku < 50dB; Způsob chlazení: Chlazení vzduchem; Vstupní napětí: 180~250V |
| Vakuové těsnění přírubové rozhraní | Standardní konfigurace: pár vakuových přírub z nerezové oceli a vysokoteplotní silikonové těsnící kroužky; výstupní příruby jsou třícestné příruby K16, KF25 a Φ8.2; výstupní přírubu lze připojit k adaptéru KF25 s vlnovcem a následně k vývěvě. |
| vakuové čerpadlo | Přijměte dvojitou rotační lopatkovou mechanickou vývěvu TRP-12; stupeň vakua může dosáhnout 10-2 torr; příslušenství pro vakuové připojení je vybaveno svorkami KF25 a vlnovci z nerezové oceli pro připojení trubkové pece a vývěvy |
| Systém dodávky plynu | Třícestný systém míchání hmoty - GYS-3Z; Napájení: 220V 50/60Hz; Rozsahy měření: 1-100 SCCM, 1-200 SCCM, 1-500 SCCM; Mechanický manometr je instalován na předním panelu a připojen ke směšovací trubce; Rozsah tlakoměru: -0,1-0,15MPa; Velikost směšovací nádrže: Φ80*120mm; Vnitřní spojovací potrubí je Φ6,35 |
| Konstrukce pece | Těleso pece lze pohybovat doleva a doprava a vysokofrekvenční napájecí zdroj lze pohybovat doleva a doprava. Tělo pece a vysokofrekvenční napájecí zdroj jsou instalovány na stejné kluzné kolejnici a používají stejnou křemennou trubici. |
| Certifikační standardy a základní komponenty | Základní komponenty celého stroje jsou v souladu s CE, UL, MET a dalšími certifikačními normami; hlavní komponenty zahrnují elektrické komponenty ABB, UL certifikované vodiče a kabely, nástroje Omega, Yudian, Continental atd. |
Kontaktujte nás
Zhejiang Nengcheng Crystal Fiber Co., Ltd.
Zhejiang Nengcheng Crystal Fiber Co., Ltd. byla založena v roce 2015. Je to profesionální podnik, který vyvíjí a vyrábí ultralehké energeticky úsporné vysokoteplotní materiály a prodává experimentální elektrické pece, průmyslové elektrické pece a nestandardní zakázkové elektrické pece. Profesionální Systém pece PECVD Výrobci a Systém pece PECVD TovárnaSpolečnost se řídí principem „přežití díky kvalitě, rozvoj díky reputaci“ a dodržuje obchodní filozofii „praktičnost, integrita a efektivita“. Zavázali jsme se poskytovat komplexní a vysoce kvalitní řešení v oblasti zařízení pro zákazníky v odvětvích, jako je keramika, metalurgie, elektronika, sklářství a chemické inženýrství. Poskytujeme také služby, jako je pražení prášku, spékání keramiky a vysokoteplotní experimenty, univerzitám, výzkumným ústavům a průmyslovým a těžebním podnikům. Zároveň se snažíme podporovat strategický rozvoj lehkých, energeticky úsporných a ekologických vysokoteplotních hliníkových vláken společnosti Nengcheng v oblasti nových pecí a stát se mezinárodně předním poskytovatelem pokročilých služeb v oblasti vysokoteplotních zařízení. Systém pece PECVD Zakázková výroba.
Nejnovější zprávy
-
Úvod do Vakuové tepelné zpracování Vakuové tepelné zpracování je pokročilý metalurgický proces používaný ke zlepšení mechanických vlastností a odolnosti průmyslových komponent. Zahříváním materiálů ve vakuovém prostředí se minimalizuje oxidace a kontaminace, což vede k přesnému a konzistentnímu výkonu materiálu. Tato technika je široce používána v průmyslových odvětvích, jako je letecký průmysl, automobilový průmysl, výroba nástrojů a elektronika. Zvýšená pevnost a tvrdost mat...
